V prostředí výroby není termální rozptyl jen nějakým akademickým údajem, který sledujete v tabulkách. Jedná se o rozdíl mezi článkem typu CIGS s efektivitou 24,5 % a hromadou odpadu. Pokud se termální odchylky dostanou do fáze měkkého zahřívání, šířky prvků se zhorší. Pokud není použit správný způsob zasychání obalu, spoléháte se na náhodu při zajišťování spolehlivosti. Vytvořili jsme tyto ohřívače určené k zpracování materiálů typu CIGS právě proto, abychom odstranili tuto nejistotu.
Co je důležité uvnitř zařízení
Dosahuje se rovnoměrnosti teploty na úrovni waferu v rozsahu ±0,1 °C po celé aktivní ploše, přičemž opakovatelnost hodnot teploty je ±0,2 °C. Krátkovlnné infračervené prvky poskytují rychlé a čisté zahřívání, zatímco kvartově izolovaná horká zóna udržuje konstantní počet částic. Zařízení lze použít v prostorách s úrovní čistoty 1–100, funguje 24/7 a na pilotních linkách, které již pracovaly více než 10 000 hodin, nebyly zaznamenány žádné neplánované přerušení provozu. Profily zahřívání jsou navrženy tak, aby respektovaly tepelné podmínky absorberů typu CIGS – zachovávají se tak ideální podmínky pro zahřívání fotorezistů a zasychání obalu.
Jde o to, že toto zařízení zajišťuje veškeré procesy spojené s teplem – sušení waferů, měkké a tvrdé zahřívání fotorezistů, zasychání obalu a sušení po čištění. Vysoká rovnoměrnost teploty udržuje stabilní kritické rozměry při litografii a snižuje vznik okrajových vad, čímž se zvyšuje výtěžnost. Rychlé a opakovatelné zahřívání zkracuje dobu cyklu. Efektivní infračervené spojení a dobré izolování tepla snižují spotřebu energie, čímž se snižují náklady na jeden wafer, aniž byste museli obětovat přesnost kvůli rychlosti.
Několik praktických poznámek: Zařízení potřebuje samostatní napájení 240 V AC a čistý, suchý vzduch pro izolaci horké zóny. Lze ho snadno integrovat do standardních dopravních systémů, ale jeho velikost je kompaktní – je třeba předem naplánovat trasy kabelů, jinak budete mít problémy. Jakmile je zařízení nasazeno, kalibrace probíhá bez použití nástrojů a může být opakována v terénu, čímž se doba přepínání zkrátí na méně než 15 minut.