
কেন ওয়েফার কিউরিং-এর জন্য হট এয়ারের পরিবর্তে আইআর রিফ্লেক্টর ব্যবহার করা হচ্ছে?
যারা সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের কাজ করেন, তারা নিশ্চয়ই হট এয়ার ব্যবহারের অসুবিধাগুলো জানেন। এটা খুবই ধীর প্রক্রিয়া। অর্থাৎ, ছোট্ট একটি ওয়েফারকে উষ্ণ করার জন্য পুরো ঘরটিকে উত্তপ্ত করতে হয়। এটা যেন প্রথমে ড্রাইভওয়েকে উত্তপ্ত করে ঘরটিকে উষ্ণ করার চেষ্টা করার মতো।
এই কারণেই আমরা ইনফ্রারেড (IR) হিটিং ব্যবহার করছি। বাতাসের জন্য অপেক্ষা না করে, IR রেডিয়েশন ব্যবহার করে সরাসরি ওয়েফারকে উত্তপ্ত করা হয়। এটা অনেক দ্রুত প্রক্রিয়া।
রিফ্লেক্টরই হলো গোপন চাবিকাঠি
আসলে, কিউরিং ল্যাম্পগুলো নিজেরাই অনেক শক্তি নষ্ট করে। রিফ্লেক্টর না থাকলে আপনার অর্ধেক শক্তি নষ্ট হয়ে যায়। আমরা বিশেষ ধরনের রিফ্লেক্টর ব্যবহার করি; এগুলো ফোটনগুলোকে আবার ওয়েফারের দিকে প্রতিফলিত করে। এর ফলে তাপ সঠিকভাবে ছড়িয়ে পড়ে। আর রিফ্লেক্টরের আকৃতি পরিবর্তন করে আমরা নিশ্চিত করতে পারি যে তাপ সমানভাবে ছড়িয়ে পড়ছে। আর কোনো “কোল্ড স্পট” থাকে না।
থার্মাল ইনার্শিয়ার সমস্যা দূর করা
এয়ার ওভেনের ক্ষেত্রে সবচেয়ে বড় সমস্যা হলো অপেক্ষা করা। চেম্বারের তাপমাত্রা বাড়াতে অনেক সময় লাগে। আর যদি ভিন্ন প্রক্রিয়ার জন্য তাপমাত্রা পরিবর্তন করতে হয়? তখন আপনাকে আবার অপেক্ষা করতে হয়। এটা অনেক সময় নষ্ট করার মতো।
আইআর সিস্টেমে এই সমস্যা নেই। সুইচ টিপলেই ওয়েফারটি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছে যায়। এটা আপনার কাজের গতি বাড়িয়ে দেয়। বড় কারখানা তৈরি না করেই আপনি আরও বেশি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ করতে পারেন।
কিছু অসুবিধা…
অবশ্য, এটা কোনো “জাদুকরী উপায়” নয়। আইআর সিস্টেমেও কিছু অসুবিধা রয়েছে। এই ল্যাম্পগুলো খুবই শক্তিশালী; তাই এগুলো অনেক তাপ উৎপন্ন করে। কিউরিং প্রক্রিয়ায় সময় সাশ্রয় হলেও, ল্যাম্পের উৎপন্ন তাপ সামলানোর জন্য একটি ভালো কুলিং সিস্টেম দরকার।
আর রিফ্লেক্টরগুলোকে পরিষ্কার রাখতে হয়। যদি রিফ্লেক্টরটি নোংরা হয়ে যায়, তাহলে অপদ্রব্যগুলো ওয়েফারের উপর জমে যায়। এতে রিফ্লেক্টরের কার্যকারিতা কমে যায়, আর তাপ অস্বাভাবিকভাবে বৃদ্ধি পায়।
যদি আপনি কনভেকশন পদ্ধতি ছেড়ে আইআর রিফ্লেক্টর ব্যবহার করতে চান, তাহলে আপনার প্রক্রিয়ার সময় বিবেচনা করুন। যদি আপনাকে প্রায় সারাক্ষণই অপেক্ষা করতে হয়, তাহলে আইআর রিফ্লেক্টরই সেরা সমাধান।